Автор работы: Пользователь скрыл имя, 07 Июня 2012 в 11:01, реферат
Несмотря на малый срок своего существования, взаимосвязь микроэлектроники с другими областями науки и техники обеспечила необычайно высокие темпы развития этой отрасли и существенно сократила время для промышленной реализации новых идей. Этому способствовало также возникновение своеобразных обратных связей между разработкой интегральных схем, являющихся базой автоматизации производства и управления, и использованием этих разработок для автоматизации самого процесса проектирования, производства и испытаний интегральных схем .
Введение
Роль тонкопленочной технологии в производстве интегральных схем
Тонкопленочная металлизация полупроводниковых приборов и интегральных схем
Методы осаждения пленок
Факторы, влияющие на свойства тонких пленок
Тонкопленочные резисторы
Тонкопленочные конденсаторы