Метод РСГУ

Автор работы: Пользователь скрыл имя, 25 Февраля 2011 в 06:20, курсовая работа

Описание работы

Релаксационная спектроскопия глубоких уровней: новый метод характеризации ловушек в полупроводниках

Содержание работы

1) Релаксационная спектроскопия глубоких уровней: новый метод характеризации ловушек в полупроводниках …………………………………3
2) Введение ………………………………………………………………………3
3) Релаксация емкости после импульсного изменения смещения. …………..5
4) Теория релаксационной спектроскопии глубоких уровней.……………… 9
5) Режимы работы ……………………………………………………………..14
6) Сравнение DLTS с другими емкостными методами ……………………...21
7) Список использованной литературы ………………………………………26

Файлы: 1 файл

Метод РГСУ.doc

— 1.06 Мб (Скачать файл)