Ионное распыление медного катода на установке ПС-1

Целями данной дипломной работы являются:
Расчет коэффициентов распыления меди ионами различных элементов при разных энергиях.
Расчет коэффициента захвата с учетом угловых и энергетических распределений распыленных атомов.
Инженерный расчет системы распыления.
Создание оптической диагностики для измерения характеристик распыленных атомов и ионов и экспериментальные исследования.

ВВЕДЕНИЕ ----------------------------------------------------------------------------- 7
ГЛАВА 1. ОБЗОР ПРОЦЕССА ИОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ ----------------- 9
1.1. Основные принципы распыления -------------------------------------- 9
1.2. Режимы распыления ------------------------------------------------------ 9
1.3 Понятие коэффициента распыления ----------------------------------- 11
1.4 Образование металлической плазмы ----------------------------------- 11
ГЛАВА 2. УСТРОЙСТВО УСТАНОВКИ ПС-1 --------------------------------- 12
2.1. Элементы установки ПС-1 ----------------------------------------------- 12
2.2. Схема и устройство первой очереди установки ПС-1 -------------- 13
2.3. Источник металлической плазмы --------------------------------------- 14
ГЛАВА 3. ТЕОРЕТИЧЕСКИЕ РАСЧЕТЫ ---------------------------------------- 16
3.1. Расчет коэффициента распыления -------------------------------------- 16
3.2. Энергетические распределения распыляемых атомов -------------- 23
3.3. Угловые распределения распылённых атомов меди ---------------- 26
ГЛАВА 4. КОНСТРУКЦИЯ ЭЛЕМЕНТОВ СИСТЕМЫ РАСПЫЛЕНИЯ ---28
4.1 Устройство для передачи движения в вакуумный объём ----------- 28
4.2 Описание конструктивных элементов штанги ------------------------ 29
ГЛАВА 5. ДИАГНОСТИЧЕСКАЯ АППАРАТУРА ----------------------------- 31
5.1 Оптическая диагностика --------------------------------------------------- 31
5.2 Описание установки монохроматора МДР-12 ------------------------- 31
5.3 Тип ФЭУ и его характеристики ------------------------------------------- 34
ГЛАВА 6. РАСЧЕТ ДЛИНЫ ИОНИЗАЦИИ АТОМОВ МЕДИ --------------- 36
ГЛАВА 7. ТЕПЛОВОЙ И ГИДРАВЛИЧЕСКИЙ РАСЧЕТ --------------------- 39
ГЛАВА 8. КОЭФФИЦИЕНТ ЗАХВАТА ------------------------------------------- 42
ГЛАВА 9. ЭКСПЕРИМЕНТ ----------------------------------------------------------- 46
9.1 Зависимость интенсивности распыления от давления
в установке ---------------------------------------------------------------------46
9.2 Интенсивность распыления при разных положениях катода ------- 50
9.3 Интенсивность распыления от напряжения на катоде --------------- 55
ЗАКЛЮЧЕНИЕ --------------------------------------------------------------------------- 57
СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ ----------------------------